Plazma felületmódosítás

Plazma felületkezelő berendezés (RFGD)


A házilag megtervezett és összeállított RFGD berendezés egy Pyrex henger alakú reaktorból áll (hossza 50 cm, átmérője 13 cm) melyen kívűlről réz elektródák helyezkednek el. Az elektródák egy rádiofrekvencián működő (13.56 MHz) ENI Power Systems Generator (Model ACG 3XL) típusu generátorból töltődnek, egy illesző áramkörön keresztűl (RFC 5MW), a visszavert terlesítmény minimalizálása érdekében. Egy Alcatel vákumszivattyú biztosítja a megfelelő nyomást, melyet egy MKS Baratron mér. Különböző gázokat lehet a reaktorba juttatni, arányukat változtatva is, a megfelelő szelepeken keresztűl. Plazmakezelő rendszerünket leginkább polimer felszínek funkcionalizálására használjuk, potenciális orvosbiológiai, diagnosztikai, terápiás vagy sejttenyésztő alkalmazásokra.