Plazma felületmódosítás
Plazma felületkezelő berendezés (RFGD)
A házilag megtervezett és
összeállított RFGD berendezés egy Pyrex henger alakú reaktorból áll
(hossza 50 cm, átmérője 13 cm) melyen kívűlről réz elektródák
helyezkednek el. Az elektródák egy rádiofrekvencián működő (13.56 MHz)
ENI Power Systems Generator (Model ACG 3XL) típusu generátorból
töltődnek, egy illesző áramkörön keresztűl (RFC 5MW), a visszavert
terlesítmény minimalizálása érdekében. Egy Alcatel vákumszivattyú
biztosítja a megfelelő nyomást, melyet egy MKS Baratron mér. Különböző
gázokat lehet a reaktorba juttatni, arányukat változtatva is, a
megfelelő szelepeken keresztűl.
Plazmakezelő rendszerünket leginkább polimer felszínek
funkcionalizálására használjuk, potenciális orvosbiológiai,
diagnosztikai, terápiás vagy sejttenyésztő alkalmazásokra.